这只是光刻机项目遇到的普通难关,李浩觉得随着时间的发展,这些问题早晚会得到解决。
最为棘手的问题就是光栅材料问题。现在郭建濯已经研发出稳定的光栅。
但是它有一个特点,必须在曝光之后,短时间内控制光栅内部的晶体结构发生变化。
这需要极为精细的电流激发,解决晶体结构产生的问题,这对控制系统要求很高。
如果不成功,无法解决光栅内部晶体结构的影响,那它控制光路径的效果也随之失效,整个芯片就无法完成加工。
王容哲听到冯凯说完,他突然插话道:“这几个问题解决方法很简单。至于困扰你们这么长时间。”
这只是光刻机项目遇到的普通难关,李浩觉得随着时间的发展,这些问题早晚会得到解决。
最为棘手的问题就是光栅材料问题。现在郭建濯已经研发出稳定的光栅。
但是它有一个特点,必须在曝光之后,短时间内控制光栅内部的晶体结构发生变化。
这需要极为精细的电流激发,解决晶体结构产生的问题,这对控制系统要求很高。
如果不成功,无法解决光栅内部晶体结构的影响,那它控制光路径的效果也随之失效,整个芯片就无法完成加工。
王容哲听到冯凯说完,他突然插话道:“这几个问题解决方法很简单。至于困扰你们这么长时间。”